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半自动晶圆减薄机

主要用途:

本设备主要用于硅片、陶瓷、锗片、砷化镓、铌酸锂、石英玻璃等晶体材料的减薄。

设备原理及特点:

1、本机采用先进的国际知名品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机界面,操作简单一目了然。

2、配备气压压力检测传感器,当气压小于设备设置的正常加工所需的最小压力时设备报警,防止工件吸不牢。

乐盈VI 3、带砂轮扭矩控制,当扭矩高于设备设置的正常加工所产生的扭矩时设备报警,防止设备异常或者误操作时撞刀损坏机器配件。

4、带砂轮电流监测功能,当冷砂轮高于设备设置的正常加工所产生的最大电流时砂轮回弹,回弹距离可调,防止砂轮挤压工件造成损坏。

5、带磨轮损耗量的自动补偿功能,防止因砂轮在磨削产品的同时产生的消耗影响工件的加工精度。

6、设备可根据客户需求选择加装砂轮在线修整功能。

7、设备可根据客户需求选择加装在线测厚功能。

产品详情

主要技术参数:

型号

FD-150A

乐盈VI FD-200A

乐盈VI FD-300A

FD-550A

加工产品尺寸

≦150mm

≦200mm

≦300mm

≦0550mm

真空吸盘转速乐盈VI

0-300rpm/min

0-300rpm/min

0-300rpm/min

0-300rpm/min

吸盘电机功率乐盈VI

2.2KW380V3相

乐盈VI 2.2KW 380V3相

2.2KW380V 3相

2.2KW380V3相

光栅控制系统

分辨率0.0005mm

分辨率0.0005mm

乐盈VI 分辨率0.0005mm

乐盈VI 分辨率0.0005mm

磨轮转速乐盈VI

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

0-3000rpm/min

磨轮马达功率

5.5kw

5.5kw

乐盈VI 5.5kw

5.5kw

产品减薄后TTV乐盈VI

乐盈VI ≦2um (6寸产品为例)

乐盈VI ≦2um(8寸产品为例)

≦3um(12寸产品为例)

乐盈VI ≦3um(12寸产品为例)

产品减薄后粗糙度

Ra0.002-0.8可调

Ra0.002-0.8可调

乐盈VI Ra0.002-0.8可调

Ra0.002-0.8可调

最小减薄厚度

≥60um

≥80um

乐盈VI ≥100um

乐盈VI ≥100um

磨轮重复定位精度

乐盈VI 1um

乐盈VI 1um

1um

1um

磨轮最小设定步距乐盈VI

乐盈VI 0.1um/s

乐盈VI 0.1um/s

乐盈VI 0.1um/s

0.1um/s

水箱尺寸

780x480x550mm

780x480x550mm

乐盈VI 780x480x550mm

乐盈VI 780x480x550mm

设备尺寸

1200x1250x2050mm

1200x1250x2050mm

乐盈VI 1200x1250x2050mm

乐盈VI 1300x1350x2150mm

重量

1700KG

乐盈VI 1700KG

1850KG

1850KG

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电话:13622378685
邮件:ljx@szfangda.com.cn
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